奧林巴斯(Olympus)半導體與平板顯示器檢測顯微鏡MX63/MX63L:
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統經(jīng)過(guò)優(yōu)化,適用于Z大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的***檢測。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件,獲得根據應用定制的系統。
這兩款符合人體工學(xué)設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí),保持檢測員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結合使用時(shí),可以簡(jiǎn)化從觀(guān)察到報告創(chuàng )建的整個(gè)工作流程。
多功能
設計滿(mǎn)足電子行業(yè)的人體工學(xué)和**性要求,并以更多功能提高分析能力。
人性化
簡(jiǎn)化的顯微鏡設置使用戶(hù)可以更輕松地進(jìn)行系統設置的調整和重現。
成像技術(shù)
成熟可靠的光學(xué)器件和成像技術(shù)可提供清晰的圖像和可靠的檢測。
模塊化
用戶(hù)可以使用適合其應用的組件進(jìn)行系統定制。
應用圖像庫
圖像管理功能可為您呈現您真正想要觀(guān)察的內容。
MX63系列旨在使客戶(hù)能夠選擇各種光學(xué)組件,以滿(mǎn)足其特定的檢測和應用需求。該系統可使用所有觀(guān)察方法。用戶(hù)還可以從各種PRECiV圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇,以滿(mǎn)足其特定的圖像采集和分析需求。
兩個(gè)系統兼容多種樣品規格
MX63系統可處理尺寸達200 mm的晶圓,而MX63L系統可以處理尺寸達300 mm的晶圓,但占地面積卻與MX63系統一樣小。模塊化設計便于您根據自身的特定需求定制顯微鏡。
紅外兼容性
紅外觀(guān)察可以使用紅外物鏡進(jìn)行,該物鏡利用硅透射紅外光的特性,使操作員能夠對封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內部進(jìn)行無(wú)損檢測。5倍至100倍紅外物鏡可實(shí)現從可見(jiàn)光波長(cháng)到近紅外波長(cháng)的色差校正。特別是對于20倍或更高倍率的物鏡,可通過(guò)校正環(huán)對覆蓋在觀(guān)察對象上的硅層引起的像差進(jìn)行校正,從而獲得清晰的圖像。
奧林巴斯(Olympus)半導體與平板顯示器檢測顯微鏡MX63/MX63L技術(shù)規格:
MX63 |
MX63L |
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光學(xué)系統 |
UIS2光學(xué)系統(無(wú)限遠校正系統) |
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顯微鏡鏡架 |
反射光照明 |
白光LED(帶光強度管理器)12 V 100 W鹵素燈,100W汞燈,光導 |
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透射光照明 |
透射光照明裝置:需使用MX-TILA或MX-TILLB。 |
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對焦 |
行程:32 mm |
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Z大載荷重量(包括載物臺和支架) |
8 kg |
15 kg |
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觀(guān)察筒 |
寬視場(chǎng)(FN 22 mm) |
正像三目鏡筒:U-ETR4 |
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*寬視場(chǎng)(FN 26.5 mm) |
正像可調傾角三目鏡筒:MX-SWETTR(光程切換**** [目鏡]:0 [相機] 或0:****) |
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電動(dòng)物鏡轉換器 |
明場(chǎng)
明場(chǎng)和暗場(chǎng) |
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載物臺(X x Y) |
帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R
帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC6R2 |
帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC1412R2 |
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重量 |
約35.6kg(顯微鏡鏡架26kg) |
約44kg(顯微鏡鏡架28.5kg) |