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ICP光譜儀的構成
日期：2024-06-21 07:02
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摘要：
ICP光譜儀廣泛為認知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線(xiàn)不同波長(cháng)位置強度的裝置。它由一個(gè)入射狹縫，一個(gè)色散系統，一個(gè)成像系統和一個(gè)或多個(gè)出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長(cháng)或波長(cháng)區域，并在選定的波長(cháng)上（或掃描某一波段）進(jìn)行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。
一臺典型的光譜儀主要由一個(gè)光學(xué)平臺和一個(gè)檢測系統組成。包括以下幾個(gè)主要部分：
1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統的物點(diǎn)。
2. 準直元件: 使狹縫發(fā)出的光線(xiàn)變?yōu)槠叫泄?。該準直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3. 色散元件: 通常采用光柵，使光信號在空間上按波長(cháng)分散成為多條光束。
4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對應于一特定波長(cháng)。
5. 探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長(cháng)像點(diǎn)的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類(lèi)的光探測器陣列。
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