納米劃痕測試儀 (NST3)
儀器簡(jiǎn)介：
市場(chǎng)上精 確的納米劃痕測試儀
納米劃痕測試儀專(zhuān)門(mén)用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的結合力。納米劃痕測試儀可用于分析有機的和無(wú)機的以及軟的和硬的薄膜。如：薄的和多層的 PVD、CVD、PECVD、光刻膠、油漆、涂料和其他各種薄膜。NST3 涵蓋光學(xué)、微電子、防護、裝飾等 應用領(lǐng)域?；w可以是硬的或軟的，包括合金、半導體、玻璃、可折射的和有機材料。
主要特點(diǎn)：
●施加較小的載荷時(shí)具有*快的響應速度
納米劃痕測試儀帶有載荷傳感器，采用雙懸臂梁用于施加載荷，以及壓電式驅動(dòng)器用于對施加的載荷快速響應。這一設計理念還修正了在劃痕過(guò)程中發(fā)生的任何事件（例如出現裂紋和失效、缺陷或樣品不平整）而導致的測量結果偏差。
●適用于彈性恢復研究的磚利真實(shí)劃痕位移測量
在劃痕之前、過(guò)程和之后，位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過(guò)程中或之后評估針尖的位移量，從而可以評估材料的彈性、塑性和粘彈性能（磚利：US 6520004）
●不打折扣：施加任何微牛級的載荷
閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統可在 1 μN 以下進(jìn)行更精 確的納米劃痕測試。納米劃痕測試儀包含一個(gè) 傳感器測量載荷，可以直接反饋給法向載荷驅動(dòng)器。這**施加的載荷就是用戶(hù)設置的載荷。
●***光學(xué)成像帶“跟蹤聚焦”功能
集成顯微鏡包括配置***物鏡的轉塔和 USB 照相機。劃痕成像時(shí)，能輕松將放大倍數從 x200 轉換為 x4000，實(shí)現在低放大倍數和高放大倍數自由切換從而更好地對樣品進(jìn)行評估?！案櫨劢埂惫δ芸梢赃M(jìn)行將多個(gè)劃痕的 Z 樣品臺自動(dòng)聚焦到正確位置。
●劃痕后可用多次后掃描模式評估彈性性能
劃痕后，您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無(wú)限次后掃描測量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴(lài)關(guān)系。
典型應用：
¨聚合物：薄膜和/或表面特性表征（耐磨損性）
¨薄膜聚合物基體氧化物涂層
¨*納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機械性能
¨硬質(zhì)涂層（PVD、CVD 涂層）：厚度小于 1 微米
¨晶圓：厚度范圍為 10 nm 至 500 nm
¨光學(xué)和玻璃：薄膜和/或表面特性表征（耐劃擦性）
¨涂層表面的物理特性分析
技術(shù)指標：
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施加的載荷 |
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分辨率 |
0.01 μN |
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*大載荷 |
1000 mN |
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本底噪音 |
0.1 [rms] [μN]* |
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摩擦力 |
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分辨率 |
0.3 μN |
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*大摩擦力 |
1000 mN |
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位移 |
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分辨率 |
0.3 nm |
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*大位移 |
600 μm |
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本底噪音 |
1.5 [rms] [nm]* |
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速度 |
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速度 |
從 0.4 mm/min 到 600 mm/min |
***實(shí)驗室條件下規定的本底噪音值，并使用減震臺。
